Chimie en microélectronique
Par : Yannick Le Tiec
Editeur : Lavoisier-Hermès
Numéro de produit : 9782746289185
ISBN : 9782746289185
139,95 $
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Présentation des chimies et des séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, de l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Sont exposées les nouvelles fonctionnalisations spécifiques.
