Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium
Par : Emmanuel Defay
Editeur : Lavoisier-Hermès
Numéro de produit : 9782746241848
ISBN : 9782746241848
213,95 $
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Aborde l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites. Description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique développé pour le cas des couches minces, des technologies mises en jeu, des caractérisations spécifiques utilisées et de réalisations technologies abouties.
